真空機(jī)組的生產(chǎn)工藝流程。
在真空泵工作時,由于泵內(nèi)壓力低于大氣壓,故氣體分子的平均自由程變小,氣體分子在真空泵中停留的時間變短,從而提高了氣體分子的抽速。當(dāng)氣體分子到達(dá)泵壁時,由于泵壁的溫度低于氣體的溫度,氣體分子將在泵壁上凝結(jié),從而減少了氣體的抽速。當(dāng)泵內(nèi)的氣體分子濃度達(dá)到一定值時,泵的抽速將不再增加,此時泵的工作狀態(tài)稱為極限狀態(tài)。
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